半導体製造ガス用ウルトラクリーン容器（中型）の再検査を超音波検査法で行う試み

抄録

半導体用ガスを入れておくウルトラクリーン容器は、5年間使用すると水圧法による再検査（耐圧試験等）が義務づけられている(高圧ガス保安法)。本論では、中型（47リットル）のウルトラクリーン容器の場合、再検査は、水圧法では1週間を要するが、超音波検査法では半日で済むことを示している。ウルトラクリーン容器(中型)の再検査を超音波検査法で行う試み、ねらい、経過、結果を報告する。