回転非対称ゲージを用いた幾何形状計測用X線CTの寸法測定誤差に関する研究

松崎 和也; 佐藤 理; 藤本 弘之; 阿部 誠; 高辻 利之

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_13

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: A08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_13

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主催: 公益社団法人精密工学会

回転非対称ゲージを用いた幾何形状計測用X線CTの寸法測定誤差に関する研究

*松崎和也, 佐藤理, 藤本弘之, 阿部誠, 高辻利之

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キーワード: 幾何形状計測用X線CT, 三次元座標計測, 試料材質由来誤差, トレーサビリティ

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抄録

内外計測可能な三次元座標測定機として幾何形状計測用X線CTが注目されており，寸法測定精度を保証することが求められている．そのために評価すべき誤差の一つとして，試料材質の違いによるX線の吸収や散乱が寸法測定精度に与える影響が挙げられる．本研究では，この影響を評価するために撮像方向によって透過距離の異なる回転非対称形状のゲージを作成し，試料条件と寸法測定誤差の関係性についての実験結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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