精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会春季大会
セッションID: C31
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ロールナノインプリント技術による表面ナノ構造作製技術とその応用(キーノートスピーチ)
*谷口 淳
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抄録
ナノインプリントリソグラフィは、表面ナノ構造を樹脂転写で求める方法である。近年、ロール金型を用いたロールナノインプリント技術も開発されている。このロールナノインプリント技術を用いて反射防止構造(モスアイ構造)を作製することが可能である。その際、レプリカモールドを用いることにより安価に簡単に複製することも可能である。
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© 2016 公益社団法人 精密工学会
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