自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究 （第3報） 基板上液相プローブの挙動に関する解析

浅井 祥平; 橘 一輝; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_177

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: C34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_177

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主催: 公益社団法人精密工学会

自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第3報）

基板上液相プローブの挙動に関する解析

*浅井祥平, 橘一輝, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

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キーワード: 光計測, 欠陥検査, ナノ異物

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抄録

シリコン平滑基板上ナノ異物を高感度，高速，非破壊で検出する方法として，我々は不活性揮発性液体を計測プローブとする新しい概念の光学的手法を提案している．本報では提案手法に大きく影響を与えると考えられる液相プローブの物理的な挙動について理論解析を行うとともに，基礎実験により，計測基本特性の解析を試みた．

責任著者(Corresponding author)

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