砥石断面形状の機上計測および補正による自由曲面の超精密研削加工

抄録

自由曲面形状の研削加工において，一次加工後に加工物形状の機上計測によって加工形状誤差分布を求め，補正加工が行われている．しかし，この方法では長時間の加工を必要とする形状や機上測定が困難な形状への適用が困難である．そこで，本研究では2次元レーザ変位計を用いて砥石断面形状の機上計測を行い，真円度誤差分布を求めることによる補正研削加工を行った．その結果，自由曲面形状の加工形状誤差を低減することができた．