ダイヤモンド超砥粒砥石を用いたサファイアの多段超仕上げ（第2報）

加工中の弾性変形を考慮した真実接触圧力と仕上げ量の関係

抄録

サファイアの高精度・高能率仕上げを目指しダイヤモンド超砥粒砥石を用いた多段超仕上げを行ってきた．しかし，砥石の組合せによっては仕上げ量が不十分なため，スクラッチ痕が残留する問題があった．そこで本報では，加工中の弾性変形を考慮して評価した砥石の作業面積率とサファイアの表面形状データから真実接触圧力を算出し，仕上げ量との関係を調査した．また，各砥石の限界到達粗さから多段工程の改善を試みた．