樹脂レプリカモールドを用いた熱ナノインプリント技術

抄録

高硬度かつ高撥水性を併せ持つ新規UV硬化樹脂と既存の樹脂を用いて、レプリカモールドを作製し，熱ナノインプリントリソグラフィ(T-NIL)を行った。まず，新規UV硬化樹脂と既存のUV硬化樹脂を用いて，UVナノインプリントリソグラフィ(UV-NIL)によりレプリカモールドを作製した。それらのレプリカモールドを用いて，T-NILを行った。その結果，新規UV硬化樹脂のT-NIL特性が既存のUV硬化樹脂よりも優れていた。