Total variation を用いたノイズフィルタ設計の新アルゴリズム開発に関する研究

抄録

半導体材料におけるウエハ平坦度など，様々な分野において計測技術の高精度化が求められている．しかし，計測にはノイズが必ず発生するため，本研究ではノイズ除去のためのフィルタ設計の研究を行ってきた．本報告では，トータルバリエーションを用いた新たなアルゴリズムによるフィルタの設計について提案し，そのノイズ除去性能結果について報告する．