自己整列微粒子を核とした水熱合成による酸化亜鉛ウニ状構造の作製とガスセンサへの応用

大久保 裕司; 諸貫 信行

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_253

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D43

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_253

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

自己整列微粒子を核とした水熱合成による酸化亜鉛ウニ状構造の作製とガスセンサへの応用

*大久保裕司, 諸貫信行

著者情報

キーワード: 微粒子自己整列, 水熱合成, 結晶成長, ウニ状構造, ガスセンサ

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

高性能ガスセンサ作製を目的とし，酸化亜鉛による高比表面積及び多数の接点を有する特徴を持つウニ状構造を作製した．高温高熱下で原材料から結晶成長を行う水熱合成より，100 nmの自己整列微粒子を核として密に整列したウニ状構造の作製を試みた．また微粒子自己整列及び結晶成長条件が構造形態に及ぼす影響を明らかにするとともに，ガスセンサ特性や許容可能なひずみを明らかにしフレキシブルガスセンサへの適用の可能性を示した．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）