レーザ割断加工における動的変形挙動の解析および実験による解明

抄録

レーザ割断加工では，加工中の温度や応力状態を予測し，ガラスに熱的ダメージを与えない最適な割断条件を決定する必要がある．本研究では，レーザ割断の機構として構築した三次元温度場モデル，二次元熱弾性モデルと，偏光高速度カメラによる位相差計測の両面から，割断中の動的変形挙動について調べた．解析と実験で得られた位相差分布はよく類似しており，レーザ通過後に発生した引張応力域で亀裂が進展していることを確認した．