革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第10報）

基本型装置（A型）によるダイヤモンドの加工

抄録

高能率な除去加工が可能な大気圧プラズマエッチング（P-CVM）と平坦化性能に優れるCMPを組み合わせ、SiCやGaN、ダイヤモンドといった難加工材料に対して、高能率な平坦化加工を目指すCMP/P-CVM融合加工法の開発を行ってきた。本発表では、最終ターゲットであるダイヤモンドの加工特性を評価した結果について報告する。