圧電素子を用いた３自由度インチワームの平面移動特性

満吉 悠太; 鳥井 昭宏; 元谷 卓; 道木 加絵

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_393

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: F07

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_393

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主催: 公益社団法人精密工学会

圧電素子を用いた３自由度インチワームの平面移動特性

*満吉悠太, 鳥井昭宏, 元谷卓, 道木加絵

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キーワード: 圧電素子, 摩擦力制御, アクチュエータ, インチワーム

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抄録

筆者らの研究室では圧電素子と電磁石を用いてインチワームの原理を用いて移動が可能なマイクロロボットを開発してきた．マイクロロボットは３個の電磁石と３個の圧電素子を組み合わせたため，３自由度微動が可能であり多自由度微動位置決め装置としての応用を目指している．本報告では平面上での移動を行い，その動作特性について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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