板状部材を用いた小型超音波モータの性能検証

抄録

超音波モータには様々な駆動原理のものが提案されているが，本研究では圧電素子と板状部材を組み合わせたモータの駆動性能について検証する．その構成は圧電素子に板状部材を変形加工して張り付けたシンプルなものであり，駆動原理は板状部材を物体に押し付け振動の往復運動速度を変えることにより双方向に移動させる．実験では，数ミリ程度の大きさで製作したステータを用いたモータの基礎特性や駆動性能について検証した．