圧電アクチュエータの荷重下特性に関する研究

バイモルフ素子に対する検討

抄録

本研究では，これまで積層型圧電アクチュエータを用いて荷重に対する特性の変化について調査し，ある程度の荷重により変位が増大するなどを示してきた．本報では，バイモルフ型圧電アクチュエータに対し，荷重による変位特性の変化について調査した．その結果，荷重に対する変位の増大現象が，駆動する回数とともに変化するという経時特性があることが明らかになったので，その結果について報告する．