振動と静電吸着によるマルチスライダ式リニアアクチュエータの検討

抄録

本稿では，レール振動と静電吸着力を利用したマルチスライダのリニア駆動機構について述べる．レール振動と同期した静電吸着により個々のスライダとレールの間の摩擦力を調整することで，複数のスライダを独立に駆動することが可能となる．提案した駆動原理による試作機で二つのスライダの駆動実験を行い，それぞれのスライダが異なる動作を実現できることを確認した．