超音波アシスト水熱合成法によるチタン酸バリウム薄膜の合成

抄録

圧電デバイスではその高い圧電特性から、チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O₃,PZT)が多く用いられる。しかし、PZTには鉛が含まれているので、環境負荷が大きいことが問題となっている。そこで、非鉛圧電材料の一種であるチタン酸バリウム(BaTiO₃)厚膜を超音波アシスト水熱合成法によって合成し、小型アクチュエータに応用することとした。本研究では、超音波アシストしない時の厚みが1.0μmであったのに対して、4.0倍の3.97μmになることを明らかにした。