操作対象の表面導電性と凝着力を考慮した微小誘電体の静電マニピュレーション

藤原 亮; ヘムタビー パソムポーン; 高橋 邦夫; 齋藤 滋規

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_509

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: G25

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_509

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主催: 公益社団法人精密工学会

操作対象の表面導電性と凝着力を考慮した微小誘電体の静電マニピュレーション

*藤原亮, ヘムタビーパソムポーン, 高橋邦夫, 齋藤滋規

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キーワード: 静電力, マイクロマニピュレーション, 誘電体, 表面導電性, 凝着

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抄録

微小誘電体静電マニピュレーションのメカニズムを解明し，操作手法を提案する．マニピュレーション系はプローブ・基板・誘電体からなり，プローブ直下の電界を制御することにより操作対象である誘電体の持ち上げと配置を行う．最適な電界の制御手法を提案するため，表面導電性と凝着力を考慮した力学モデルによる解析と，直径30マイクロメートルのガラス，シリカ，ポリスチレン，アクリル粒子の挙動観測と表面電流測定を行う．

責任著者(Corresponding author)

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