3Dプリンターを用いた微細毛構造を持つ双極型静電チャックモジュールの開発

抄録

微細毛構造を持つ双極型静電チャックは，プラスチックフィルムや紙，布といった薄い軟材料を繊細に吸着でき，さらに残留電荷に起因する脱離しにくい場合に対しても，吸着面の確実な脱離が可能になると期待される．本研究では，3Dプリンターを用いて二つの導体間に絶縁体を挟む三層一体成形の双極型静電チャックモジュールを製作し，性能評価を行う．また，積層による大面積化といった拡張性および高精細化に向けた展望を示す．