非接触精密光コム距離測定技術の開発（第10報） 複数周波数を用いた絶対計測手法

木村 文紀; 尾上 太郎; 高橋 哲; 高増 潔; 松本 弘一

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_55

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: A61

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_55

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主催: 公益社団法人精密工学会

非接触精密光コム距離測定技術の開発（第10報）

複数周波数を用いた絶対計測手法

*木村文紀, 尾上太郎, 高橋哲, 高増潔, 松本弘一

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キーワード: 光コム, 非接触計測, 絶対距離計測

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抄録

機械部品の製造現場では，非接触かつ絶対距離計測が可能な技術が求められている．我々は光コムのセルフビートを利用し，位相変化法に基づいた粗面計測に関する研究を行ってきた．光コムのセルフビート周波数は相対不確かさが極めて小さく，表面粗さに対する波長も十分に長いため，高精度かつ非接触で物体表面を計測することが可能である．本稿では複数周波数を用いて，計測の高精度化および絶対計測手法の検討を行った．

責任著者(Corresponding author)

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