スペックルボイリング法による三角測量変位センサの異常値低減

抄録

三角測量法を用いたレーザ変位センサは、広範囲の測定や駆動部を持たないことによる高速測定が可能であることなどの利点があり、変位測定や段差測定など多くの用途に使用されてきた。しかし、このセンサを用いて工業加工面の形状測定を行うと、異常値が検出される。本研究では入射光の位相変調を行って、反射光強度分布をランダムに変化させるスペックルボイリング方式を提案し、加工面に依存せず異常値の低減を試みる。