スピンドル誤差運動測定装置の開発

4,000rpm時の誤差運動

抄録

スピンドルの不要な5自由度誤差運動(半径方向の2軸並進誤差+軸方向の1軸並進誤差+回転軸以外の軸まわりの2軸回転誤差)をナノメートル及びサブマイクロラジアンの精度で測定する技術が必要とされている。最高速度4,000rpmのスピンドルに同心円状回折格子を取り付け、マイケルソン干渉計と回折格子干渉計を搭載した変位センサを3台用いて、正弦波周波数変調法により、上の誤差運動を測定できる装置を開発した。