ブロード光干渉を利用したノンミラー型絶対測長技術

抄録

ブロード光干渉においてファブリー・ペロー・エタロンを適用してスペクトルの繰り返し干渉を実現し、あらにその周波数を上げることによって、短いストロークの走査量のステージを用いるだけでだけで、任意の長さを絶対測定する技術を開発している。今回、任意の対象物までの長さを精密に測定するために、光学系や干渉縞検出の高感度化を実現し、粗面を反射平面鏡として利用できる精密な絶対測長技術を開発したので報告する。