精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会春季大会
セッションID: J37
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転がり案内の非線形な周波数応答に及ぼす潤滑油の影響
*酒井 康徳朱 彊吉岡 勇人田中 智久
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抄録
数十μm以下の微小変位領域において,転がり案内の摩擦は非線形ばね特性を有している.この摩擦特性により,案内単体やそれが組み込まれた送り駆動機構の周波数応答が印加力振幅によって変化する.高精度な位置決めを実現するためには,転がり案内の周波数応答に生じる力振幅依存性を解明する必要がある.そこで本研究では,潤滑油やその動粘度が転がり案内単体の周波数応答に生じる力振幅依存性へ及ぼす影響を明らかにする.
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© 2016 公益社団法人 精密工学会
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