フェムト秒レーザーによる金属のライン加工時に現れる周期的現象の発生プロセスの観察

抄録

フェムト秒レーザーは，熱影響部のない微細加工を行うことができるとされているが，高速現象であるため，実際の加工過程は詳しくは解明されていない．また，これまでの研究で，ある条件下では加工面に周期的なくぼみ構造が生じることが分かった．本研究では，フェムト秒レーザーによる超硬のライン加工の際に，くぼみ構造が発生する条件を調べ，その加工現象を2台の高速度ビデオカメラを用いて可視化，観察した．