コロイダルシリカスラリーの電界活性化技術

抄録

サファイアやシリコンウェーハなどの半導体基板研磨の最終仕上げに多用されているコロイダルシリカスラリーは、ナノレベルの粒子径を持つシリカ粒子を安定分散させたコロイド溶液である。研磨効率が劣化したコロイダルスラリーに電界を印加することによって研磨効率を回復させることに成功した結果について報告する。