ガラス精密研磨用CMP砥粒の開発と研磨特性評価（キーノートスピーチ）

川原 浩一; 鈴木 俊正; 須田 聖一

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_843

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: O31

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_843

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主催: 公益社団法人精密工学会

ガラス精密研磨用CMP砥粒の開発と研磨特性評価（キーノートスピーチ）

*川原浩一, 鈴木俊正, 須田聖一

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抄録

噴霧熱分解法で合成したセリア系砥粒を用いて，3価のカチオンの固溶の影響を調べ，セリア格子中に酸素欠損を導入することが重要であることが分かった．市販セリア系スラリーを用いた寿命評価では，劣化挙動を定量的に評価し，スラリーの劣化が研磨されたガラスの量と相関があることが知られた．新規なCMP砥粒の開発では，「ナノ複合砥粒」の材料設計を行い，それに基づいたSrZrO₃-ZrO₂砥粒の開発に成功した．

責任著者(Corresponding author)

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