マイクロ液圧駆動機構による微小力センサの開発

蛇澤 正雄; 水戸 康之; 笹木 亮; 堂田 邦明

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_873

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: P14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_873

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

マイクロ液圧駆動機構による微小力センサの開発

*蛇澤正雄, 水戸康之, 笹木亮, 堂田邦明

著者情報

キーワード: 液圧アクチュエータ, 外力推定, 小型化

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

力のセンシング機能を有する液圧駆動機構を小型化することで，より微小な力を計測できる微小機構を開発し検討を行った．一般的にセンサを小型化することは計測精度の低下につながるが，本機構では機構の小型化により力の計測精度を向上できる．これにより内径0.5mmの試作機において1000倍以上の力の増幅を得ることができた．本報では，試作した機構の基礎的な特性について述べる．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）