二段アダプティブKBミラー光学系を用いた硬X線平行ビームの形成

後藤 拓実; 中森 紘基; 松山 智至; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 矢橋 牧名; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_911

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: Q32

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_911

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主催: 公益社団法人精密工学会

二段アダプティブKBミラー光学系を用いた硬X線平行ビームの形成

*後藤拓実, 中森紘基, 松山智至, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

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キーワード: X線集光光学素子, 形状可変ミラー, 圧電アクチュエータ

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抄録

われわれは，形状を高精度に制御可能な形状可変ミラーを光学素子として用いた硬X線集光光学系の開発を行ってきた．本光学系は，4枚の形状可変ミラーを用いた二段のKBミラー集光光学系であり，それぞれのミラー形状を制御することで開口数を任意に変更し，必要とするサイズのX線ビームを形成することができる．本発表では，後段KBミラーの形状を放物面とすることで，X線平行ビームの形成を行った結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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