硬X線用部分回転楕円面集光ミラーの作製と集光評価

湯本 博勝; 小山 貴久; 松山 智至; 香村 芳樹; 山内 和人; 石川 哲也; 大橋 治彦

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_909

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: Q31

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_909

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主催: 公益社団法人精密工学会

硬X線用部分回転楕円面集光ミラーの作製と集光評価

*湯本博勝, 小山貴久, 松山智至, 香村芳樹, 山内和人, 石川哲也, 大橋治彦

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キーワード: X線ミラー, X線光学素子, シンクロトロン放射光

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抄録

1枚のミラーで2次元集光が可能な部分回転楕円面ミラーによる硬X線ナノ集光の実現を目指した．本ナノ集光ミラーには1nm高さ分解能の形状修正加工が要求される．高精度形状計測システムと高精度加工システムを構築し，3nm(RMS)の形状精度をもつミラーを開発した．SPring-8において集光性能を評価した結果，95nm×135nm(半値幅)の2次元集光ビームを実現した．

責任著者(Corresponding author)

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