小型かつ高拡大倍率が実現可能なX線結像光学系の開発 幾何・波動光学シミュレーションを用いた結像特性の考察

山田 純平; 松山 智至; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_913

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: Q33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_913

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主催: 公益社団法人精密工学会

小型かつ高拡大倍率が実現可能なX線結像光学系の開発

幾何・波動光学シミュレーションを用いた結像特性の考察

*山田純平, 松山智至, 山内和人

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キーワード: X線ミラー, X線光学, 結像型X線顕微鏡

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抄録

高分解能，色収差なし，小型，高拡大倍率は，結像型X線顕微鏡を開発する上で重要な性能である．従来のミラー結像光学系の設計では，これらすべての要求を満たすことができなかった．この問題に対し，2枚の凹面鏡と2枚の凸面鏡で構成されるAdvanced Kirkpatrick-Baezミラー結像光学系を提案した．本発表では，シミュレーション研究によって得られた結像光学系の特性や得られる性能について報告すると共に，最適に設計した光学系を示す．

責任著者(Corresponding author)

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