電気化学的ナノ加工法の基礎的検討

デュアルポテンショスタットによる両極反応制御

抄録

電気化学反応は、材料、電場、溶液の三者が複雑に影響しあう反応である。本研究では電気化学的アプローチに基づく，局所ナノ加工法を新規開発する．被加工面に微細工具電極を近接させ，両者の電位制御により局所的に金属を酸化・溶出させる．本研究では、デュアルポテンショスタットを用い工具、加工面の電気化学的ポテンシャルを制御可能な加工システムを構築し，ガラス基板上のNi蒸着面を被加工物として実証実験を行った．