キャビテーション墳流を用いたナノ加工法の基礎的検討

各種加工材料を用いた化学反応性調査

抄録

キャビテーションは気泡崩壊時に強力な衝撃波を発生させるほか，フリーラジカルや過酸化水素などの反応性に富んだ物質を発生させることが知られている．本研究ではキャビテーションのもつ化学的な活性化作用を利用し，ナノメートルスケールでの精密加工法を目指している。ノズルの噴流でキャビテーションを発生させる加工装置を開発した．発表では装置を用いた基礎実験の結果について述べる．