Polynomials-Matrix法によるローテーショナルシアリング干渉縞の高精度解析

極座標方式ラインCCDカメラを用いたP-M法による解析誤差の検討

抄録

Polynomials-Matrix法は，ローテーショナルシアリング干渉縞を積分法で解析した場合に生じる誤差を解析的に求め補正する方法である．通常，干渉縞の取得には，撮像素子が直交座標系に配列したCCDカメラを用いる．しかし，P-M法は極座標系に適用されるため，直交座標系から極座標系に座標変換する必要があり誤差が生じる．そこで，本報告ではラインCCDカメラを回転させて極座標系のデータを取得し，P-M法により解析をした場合の解析誤差について述べる．