激しい空気擾乱にも影響されない波長シフト干渉計による3次元形状計測法（第3報）

抄録

光軸方向に光路差変動が存在する状況下でも使える，波長シフトを用いる粗面物体の３次元形状計測法をこれまで研究してきた．しかし環境によっては極めて激しい空気擾乱も存在する．ここではそのような場合を想定し，干渉計近くにドライヤーを持ち込み30cm程度離れた位置から高温空気を測定面に送り込んだ状態で，３次元形状計測を試み，問題点やその解決方法の検討結果を報告する．