ダイヤモンド切削工具形状の超精密測定に関する研究

切削工具切れ刃稜丸み径測定手法の検討

抄録

レンズと半導体レーザ光源で構成した集光レーザを用いてダイヤモンド切削工具の切れ刃周辺を走査し，通過レーザ光量変化と集光レーザ走査軌道情報から工具刃先形状を算出する工具刃先形状測定手法の開発を行っている．本報では，レーザ光集光に用いる対物レンズの特性を活かし，走査レーザにより工具刃先稜丸み径を評価する手法を提案するとともに，その実現可能性について理論的に検討した結果について報告する．