抄録
最近、IoTの議論が活発であり、光計測技術も多くの期待が寄せられているが、まだ、具体的な実証例が少ない。このためには、光デバイスの精密化・コンパクト化が重要である。発表者らは、IoT技術も考慮して早くから、光ファイバー用エタロンの寸法を計測しながら同時研磨加工する技術の開発に取り組んできた。走査ステージを用いた低コヒーレンスマイケルソン干渉計による自動計測と自動研磨加工を行うことによって、その寸法をサブマイクロメートルで製作する技術を開発したので報告する。さらに、機械的切削加工などへの応用の可能性に関しても議論する。
