パイロゾル法によるTi被覆ダイヤモンド砥粒の開発

青山 真也; 張 宇; 谷 泰弘; 桐野 宙治; 小泉 将治

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_229

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: D18

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_229

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

パイロゾル法によるTi被覆ダイヤモンド砥粒の開発

*青山真也, 張宇, 谷泰弘, 桐野宙治, 小泉将治

著者情報

キーワード: ダイヤモンド砥粒, ダイヤモンドワイヤ, めっき

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抄録

シリコンウエハの製造に使用される電着ダイヤモンドワイヤの製造効率を改善することが求められている．現在ワイヤに使用されているNi被覆のダイヤモンド砥粒は耐酸性が劣り，ワイヤ製造時にめっき液中での被覆の溶出や不働態膜の生成が起きる．本研究では耐酸性の優れたTiを用い， Tiの導電性を向上させるため窒化処理することを前提とし，パイロゾル法によるTi被覆ダイヤモンド砥粒の作成について検討し，結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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