精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会秋季大会
セッションID: D20
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ウレタン・エポキシの混合樹脂を含浸した不織布研磨パッドの開発
*設楽 源大張 宇谷 泰弘
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キーワード: 研磨
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抄録
エポキシ樹脂を含浸した不織布パッドは、従来のウレタン樹脂含浸不織布パッドより研磨特性が良いと知られている。さらにエポキシ樹脂とウレタン樹脂を2工程で含浸する二段含浸不織布パッドは、エポキシ樹脂のみ含浸した不織布パッドより研磨特性がよいことが確認されている。本研究では含浸工程の簡略化のために、ウレタンとエポキシの混合樹脂を同時に含浸した不織布パッドを開発し、研磨特性を検討したので報告する。
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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