溶剤希釈のエポキシ樹脂を用いた研磨パッドの研磨特性

抄録

精密加工では主に遊離砥粒を用いた加工法が使用されている．近年，製品の性能向上や小型化，生産コスト低減に伴い，加工の高能率，高品質化が求められている．エポキシ樹脂研磨パッドは、従来のウレタン樹脂研磨パッドと比較して、研磨能率及び仕上げ表面粗さに優れていることが知られている．本研究では溶剤希釈を用いエポキシ樹脂研磨パッドの利便性を向上させた．また希釈剤の研磨特性への影響を考察した.この結果を報告する．