複数のエポキシ樹脂主剤を用いた研磨パッドの開発

抄録

近年スマートフォンなどの普及に伴い品質向上や小型化、生産コストの削減のために加工の高能率化、高精度化が求められている。また、エポキシ樹脂研磨パッドは多孔質のものより無気孔のものの方が研磨特性が優れていることがわかっている。そこで、本研究では複数のエポキシの主剤を用いることにより多孔質の代わりに、硬度の違いにより表面に凹凸を形成した無気孔の研磨バットを検討した。