マイクロトラップアレイを用いたシリコン微細チップの配列

抄録

次世代ディスプレイとして、高速動作可能なTFTアレイを薄いガラスやプラスチック基板上へ作製することが求められている。単結晶シリコンウェハ上で作製した高性能TFTをディスプレイ基板上で再配置できれば、プラスチック基板でも高精細かつ高速なディスプレイを実現できる。本報告ではマイクロ流路を用いて直方体TFTチップをアレイ化する配列手法を提案し、40個のトラップに対し50×100×10μmの直方体Siチップを歩留まり100％で整列させた。