ニッケル触媒を利用した純水ベースの触媒表面基準エッチング法の開発

藤 大雪; 礒橋 藍; 稻田 辰昭; 中平 雄太; 木田 英香; 松山 智至; 佐野 泰久; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_35

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: A25

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_35

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

ニッケル触媒を利用した純水ベースの触媒表面基準エッチング法の開発

*藤大雪, 礒橋藍, 稻田辰昭, 中平雄太, 木田英香, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

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キーワード: 触媒, エッチング, 研磨

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抄録

我々は機能性材料を平坦化する手法として触媒表面基準エッチング法を開発してきた．加工液に純水，触媒にPt，を用いる本手法は高精度表面の実現を可能にするがステップフロー型エッチングであるため加工速度は未だ不十分である．そこで本研究ではニッケルを触媒として利用し，加工速度の向上を図った．表面が酸化され化学的不活性になりやすいニッケルを電気化学的手法によりその触媒活性を安定させ超高速加工を実現した．

責任著者(Corresponding author)

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