ナノ秒グリーンパルスレーザによる窒化ケイ素の微細溝加工特性

永冨 友貴; 佃 勇気; 太田 稔; 江頭 快; 山口 桂司

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_363

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: F05

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_363

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

ナノ秒グリーンパルスレーザによる窒化ケイ素の微細溝加工特性

*永冨友貴, 佃勇気, 太田稔, 江頭快, 山口桂司

著者情報

キーワード: ナノ秒パルスレーザ, 窒化ケイ素, 微細溝, 加工特性, テクスチャリング

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

窒化ケイ素をマイクロフォーミング用の工具として利用することでさまざまな材料への表面微細構造の形成が可能である．本研究では，ナノ秒グリーンパルスレーザを用いてこの工具に微細形状を施すことを狙いとして，窒化ケイ素の微細溝加工特性を検討した．窒化ケイ素に対し加工条件を変化させて溝加工を行い，出力，パルスエネルギー，照射時間が加工形状に及ぼす影響を明らかにした．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）