パルスレーザ照射によるサファイアの3次元微細構造の加工

抄録

サファイアは高い硬度を持っており，光学系やLED基板など様々な分野での応用が期待されている．しかし，硬脆材料であるため，サファイアの機械加工では工具摩耗が問題となっている．本研究では、ナノ秒パルスレーザを用いてサファイア基板への微細溝加工を行った．繰り返し照射時におけるテーパの発生を利用し，シャープな溝先端プロファイルを持つ微細ピラミッド構造の加工に成功した．この構造は光学素子などとして応用できる．