8条リニアボールガイドの非線形ばね特性と微小変位挙動との関係

抄録

8条リニアボールガイドを用いた送り駆動系において，ナノメートルオーダのステップ応答試験とそのシミュレーションとを行った．その結果，ステップ応答の時定数はガイドの非線形ばね特性が示すばね剛性により決まり，簡易的なモデルによってその挙動を解析できることがわかった．さらに，停止中の静止安定性についても，停止中に生じる振動振幅が非線形ばね特性のコンプライアンスに比例することがわかったので報告する．