Ti-SiOx多層薄膜の自己伝播発熱反応に及ぼす酸素濃度の影響

抄録

我々は、Niフリーで自己伝播発熱反応を生じる材料を探索しており、その有力な候補としてTi-Si多層膜を提案している。しかし、Ti-Si多層膜は、その反応性が非常に高く機械的な刺激によっても容易に反応が開始してしまい、取扱いが難しい。前回の大会でSi層の代わりにSiOx層を用いることで反応挙動を制御できる可能性について示したが、今回はSiOx層の酸素濃度が反応挙動におよぼす影響について調査した結果について報告する。