熱アシストプラズマ処理の接着性向上効果に対する表面温度の影響 プラズマ処理中のヒータ加熱によるフッ素樹脂の接着性向上

中川 哲哉; 大久保 雄司; 青木 智紀; 小玉 欣典; 遠藤 勝義; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_445

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: G07

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_445

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

熱アシストプラズマ処理の接着性向上効果に対する表面温度の影響

プラズマ処理中のヒータ加熱によるフッ素樹脂の接着性向上

*中川哲哉, 大久保雄司, 青木智紀, 小玉欣典, 遠藤勝義, 山村和也

著者情報

キーワード: プラズマ, ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）, 接着強度, 表面温度

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抄録

フッ素樹脂は摺動特性、耐薬品性、高周波特性などに優れており，多岐にわたる応用が期待されるが，他物質を接着させることが困難な材料である．よって，接着性を向上させるために表面改質する必要がある．本研究では，フッ素樹脂の接着性を大幅に向上できる熱アシストプラズマ処理において，ヒータ加熱による表面温度が接着性向上効果に及ぼす影響について調査した．

責任著者(Corresponding author)

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