大気圧プラズマ装置の電磁場シミュレーションとプラズマパラメータ解析

抄録

新しいプラズマプロセスの開発には、プラズマの内部パラメータをモニターして制御することが極めて効果的である。しかし、大気圧プラズマについては内部パラメータの有効な測定法が確立されていないのが現状である。本研究ではインピーダンスマッチング回路の状態をもとに、電磁場解析により大気圧プラズマの内部パラメータを求める新手法を提案し、150MHz大気圧プラズマの電子密度、電子温度の算出に適用した。