湿度制御を用いた新たなインクジェット成膜システムとPdOナノ膜の断面形状の平坦化

抄録

高い着弾精度と平坦な形状の膜を実現できるインクジェット塗布システムを開発している。このシステムは恒温恒湿槽と真空乾燥炉を持つ。塗布したインクを真空乾燥により基板に固着させ、環状の塗膜を得た。この膜を加湿により基板上で再度液滴にした後、湿度制御により適正に乾燥させた結果、幅は変わらず、平坦な膜が得られた。更に焼成することで、幅85μｍ、厚さ4nmの平坦なイメージングデバイス用PdO膜が得られた。