圧電性向上を目的としたBサイト添加元素を有するチタン酸バリウム薄膜創製手法の開発

抄録

定量的な圧電薄膜機能向上手法の開発を目的として，チタン酸バリウムの圧電性向上を可能とする添加元素の選定を第一原理計算を用いて行った．選定された添加元素は結晶構造のBサイトを置換可能であり，置換による結晶異方性の増大によって圧電性が向上する．本報では種々の添加元素を任意の割合で含有するチタン酸バリウム薄膜をスパッタリング法より創製し，目的の組成および添加元素の占有状態が得られている事を確認する．